一、設(shè)備簡(jiǎn)介：

　　1、音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)6自由度振動(dòng)控制;

　　2、自主設(shè)計(jì)高精度傳感器實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)平以及實(shí)時(shí);

　　3、自主設(shè)計(jì)高精度傳感器實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)平以及實(shí)動(dòng)狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè);

　　4、無明顯共振放大現(xiàn)象，主動(dòng)隔振起始頻率低至1Hz起，10Hz時(shí)即可實(shí)現(xiàn)95%以上的隔振效率;

　　6、多種工作臺(tái)面尺寸及安轉(zhuǎn)孔可選，滿足不同設(shè)備尺寸需求。

　　二、應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、桌面式SEM;2、共焦顯微鏡;3、原子力顯微鏡;4、高精度工具; 5、掃描探針顯微鏡;6、其他光學(xué)及電子設(shè)備

　　三、性能參數(shù)：